Електронний мікроскоп – прилад, призначений для спостереження й фотографування до 10⁶ разів збільшених зображень об'єктів, у яких замість світлових променів використовуються електронні пучки, прискорені у вакуумі до енергій 30-100 кеВ.

Просвічуючі (ПЕМ) мають найбільшу роздільну здатність (до 2Å).

Растрові (РЕМ) – зображення об'єкта одержується за допомогою послідовного переміщення тонкого електронного пучка по поверхні (сканування). Роздільна здатність – 100Å, але вони мають високу інформативність. Можна досліджувати мікрорельєф, розподіл хімічного складу речовини на поверхні, p-n-переходи, структурний аналіз.

В електронному мікроскопі електронні пучки створюються за допомогою магнітних та електронних лінз (поля з певною симетрією).

Перейти вище